Le manque de précision à long terme et la non-linéarité des capteurs de pression piézorésistifs ont jusqu'à présent restreint leur utilisation aux environnements relativement stables. La technologie de pointe développée par la société EG&G IC Sensors a permis de rendre ses capteurs micro-usinés en silicium 5 fois moins sensibles aux fluctuations de température et de les intégrer à de plus nombreux instruments portatifs et processus de fabrication. 

Appelés « UltraStable », les capteurs de pression série TO-8 et HIT permettent de mesurer la pression absolue, la pression au manomètre ou la pression différentielle avec une non-linéarité de ±0,1% dans une plage de mesures comprises entre 0 et 17 bars. Cette innovation réduit les erreurs de mesure, de zéro et de dérive tout en favorisant l'étendue de la gamme des températures de fonctionnement (entre -20 et +85°C). Les capteurs sont destinés aux applications bas prix et grand volume dans les secteurs de l'instrumentation médicale, de la commande des procédés, des instruments d'étalonnage et de l'électronique ; ils peuvent également être utilisés dans les applications de contrôle du débit d'air, d'avionique et dans les appareils de détection des fuites.
On les utilise comme capteurs principaux ou pour la compensation des mesures. Ils sont disponibles pour deux plages de pression, à savoir 0 - 0,7 bar et 0 - 17 bars pour la série TO-8, 0 - 0,7 bar et 0 - 7 bars pour la série HIT. Les modèles se montent sur circuits imprimés et sont interchangeables avec la génération précédente des capteurs fabriqués par la société.
Les capteurs micro-usinés en silicium convertissent la pression en signal électrique en détectant la déformation d'une membrane en silicium. La déformation est mesurée par les résistances dopées d'ions présentes sur la membrane. La nouvelle conception du dé de silicium (membrane du capteur), les modifications apportées au dopage des ions de bore et un contrôle plus rigoureux des processus de fabrication contribuent tous à des performances exceptionnelles, affirme la société.
Les hautes concentrations de dopage minimisent l'effet de la température et améliorent la linéarité dans des plages de température de fonctionnement plus étendues. L'amélioration de la stabilité de l'étalonnage joue un rôle très important dans la précision des instruments portatifs et des procédés industriels soumis à de grandes fluctuations de température.
EG&G IC Sensors, basé à Milpitas en Californie (Etats-Unis) développe et fabrique pour le marché mondial des capteurs en silicium micro-usinés, des accéléromètres et des produits fabriquées sur mesure. UltraStable est une marque déposée de EG&G IC Sensors.

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Linda E. Duprel
EG&G IC Sensors
1701 McCarthy Boulevard
Milpitas, CA 95035
USA
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