Langfristige Genauigkeit sowie beschränkte Linearität haben bisher den Anwendungsbereich von Piezowiderstands-Drucksensoren auf relativ stabile Umgebungen begrenzt. Dank Neuerungen in der Konstruktion seiner mikromechanisch hergestellten Silizium-Drucksensoren konnte EG&G IC Sensors die Temperaturabhängigkeit um das Fünffache reduzieren, so daß heute breitere Anwendungsmöglichkeiten in tragbaren Instrumenten und Herstellungsverfahren gegeben sind.

Die unter dem Namen UltraStable vermarkteten Drucksensoren der Serien TO-8 und HIT sind in der Lage, Absolut-, Über- und Differenzdruck mit einer Nichtlinearität von ±0,1% über Meßspannen zwischen 0 und 17 bar zu messen. Aufgrund der neuen Konstruktion werden Meßspannen-, Nullpunkt- und Driftfehler verringert und die Betriebstemperatur auf einen Bereich zwischen -20 bis +85 °C erweitert. Konzipiert sind die Sensoren für preisgünstige, massengefertigte OEM-Anwendungen in medizinischen Instrumenten, Prozeßsteuerungen, Eichgeräten und Elektronikkomponenten sowie in Luftfahrtelektronik und Geräten zur Luftströmungskontrolle und Leckagenermittlung.
Die Sensoren sind als Primärsensoren oder auch zur Messungskompensation einsetzbar. Die Serie TO-8 bietet Druckbereiche von 0 bis 0,7 bar und 0 bis 17 bar, während die HIT-Serie Druckbereiche von 0 bis 0,7 bar und 0 bis 7 bar aufweist. Beide Modelle sind zur Montage auf Leiterplatten geeignet und mit Modellen der vorherigen Generation austauschbar.
Mikromechanisch hergestellte Silizium-Drucksensoren konvertieren Druck in ein elektrisches Signal, indem sie die Ablenkung in einer Silizium-Membran ermitteln. Die Ablenkung wird durch ionenimplantierte Widerstände auf der Membran gemessen. Laut Berichten des Unternehmens ist ein neu konstruierter Siliziumchip (Sensormembranb), bei dem die Bor-Ionen-Dosierung modifiziert wurde, zusammen mit strengerer Produktionskontrolle für diese durchbrechende Leistungsverbesserung verantwortlich.
Starke Konzentrationen von Dotiermitteln sorgen dafür, daß temperaturabhängige Auswirkungen auf ein Minimum reduziert werden, woraus eine bessere Linearität über breitere Betriebstemperaturbereiche resultiert. Derartige Verbesserungen in der Eichstabilität haben besondere Relevanz auf tragbare Geräte und industrielle Prozeßinstrumente, die unter schwankenden Temperaturbedingungen eingesetzt werden.
EG&G IC Sensors, mit Sitz in Milpitas, Kalifornien, USA, ist in der Konstruktion und Herstellung von mikrobearbeiteten Silizium-Drucksensoren, -Beschleunigungsmessern und spezialgefertigten Mikroprodukten tätig, die auf der ganzen Welt vermarktet werden. UltraStable ist ein eingetragenes Warenzeichen von EG&G IC Sensors.

Weitere Informationen erhältlich über:
Linda E. Duprel
EG&G IC Sensors
1701 McCarthy Boulevard
Milpitas, CA 95035
USA
Tel: +1-408-432-1800
Fax: +1-408-432-7322

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