New micro-machined chip
PRESSEMITTEILUNG
31. Oktober 1995
Neuer mikro-materialbearbeiteter
Sensorchip verbessert die Spezifikation
von Druckmeßwertwandlern
Die neueste Familie der Drucksensoren, die demnächst von der in Milpitas in Kalifornien ansässigen Firma EG&G IC Sensors auf den Markt gebracht werden wird, beinhaltet einen gekapselten, mikrobearbeiteten Silizium-Dehnungsmeßwandler, was laut Hersteller eine wesentlich bessere Leistung und um 50% niedrigere Stückkosten als bei früheren Industrienormen zur Folge hat.
Nach Angaben des Herstellers konnte bei dem neuen Ultra-Chip die Nicht-Linearität des Meßwandlers auf +/-0,1% verringert und der Temperaturkompensationsbereich auf -20°C bis 85°C erweitert werden für Betriebsdrücke von 0-1 Bar (0-15 Psi) bis einschließlich 0-35 Bar (0-500 Psi) und von 0-70 Bar (0-1000 Psi) bis einschließlich 0-350 Bar (0-5000 Psi).
Die kompakte, stabile Konstruktion paßt vor allem auf Meßwandler für eingebettete OEM-Anwendungen, wie zum Beispiel Meßgeber für Betriebsdruck und Flüssigkeitsstand, Fertigungsmaschinen und -roboter, wo niedrige Kosten und eine einfache Installation von großer Wichtigkeit sind.
Laut EG&G IC Sensors verbessert das neue Produkt die Meßgenauigkeit und Langzeitzuverlässigkeit und vergrößert gleichzeitig die Bandbreite der Anwendungen, da es die Kosten senkt und die Installation erleichtert. Wichtige Faktoren für das Erreichen dieses Ziels sind der Ultra, mikrobearbeitete Silizium-Dehnungsmeßsensor und der mechanische Aufbau des Sensorgehäuses.
Über einen langen Zeitraum betrachtet hängt das zuverlässige Druckmessen in einer aggressiven Umgebung von einer wirksamen Isolierung des Sensors von der Umgebung ab. Diaphragmen und Dichtungsflüssigkeiten, die den Sensor eigentlich isolieren sollen, sind oft verantwortlich für Meßfehler, die aufgrund mechanischer Verluste im Diaphragma und der Ausdehnung bzw. des Zusammenziehens der Dichtungsflüssigkeit als Ergebnis von Temperaturschwankungen auftreten. Laut Hersteller hat das neue Produkt diese Einschränkungen durch neuartige Diaphragmen und Herstellungsverfahren und die Minimierung des Volumens der Silizium-Dichtungsflüssigkeit aufgehoben.
Die neue Sensorfamilie wird in zwei Modellen angeboten, dem Modell 96 ausgelegt für Drücke von 0-1 Bar (0-15 Psi) bis einschließlich 0-35 Bar (0-500 Psi) und dem Model 97 ausgelegt für Drücke von 0-70 Bar (0-1000 Psi) bis einschließlich 0-350 Bar (0-5000 Psi). Beide Modelle haben ein 1/4 Zoll langes NPT-Gewinde als Druckverbindung und ein Bandkabel mit fünf Leitern für den Anschluß des Erregerstroms und des Spannungs-ausgangssignals.
Der erforderliche Erregerstrom beträgt bei beiden Modellen 1,5mA, das Ausgangssignal 0-100mV. Neben den OEM-Anwendungen zielt die Modellfamilie 96 und 97 auf so verschiedene Anwendungen wie Meßgeräte für Infusionen in der Medizin, hydraulische Steuerungs- und Regelsysteme und die Überwachung des Behälterdrucks bei SCUBA Tauchcomputern.
EG&G IC Sensors haben sich auf die Konstruktion und Herstellung von mikrobearbeiteten Silizium-Drucksensoren, Beschleunigungsmessern und Mikroventilen spezialisiert, die weltweit vertrieben werden./ins
Bildunterschrift:
Die Silizium-Dehnungsmeßdruckwandler Modelle 96 und 97 der Firma EG&G Sensors eignen sich für Drücke von 0-1 Bar bis 0-350 Bar und haben eine Nicht-Linearität von +/-0.1 % und eine Temperaturkompensation von -20°C bis 85°C.
Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an:
EG&G IC Sensors Inc.
Linda Duprel
1701 McCarthy Blvd.
Milpitas, California 95035
USA
Tel: +1 408 432 1800
Fax: +1 408 432 7322
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