New pressure sensor design increases accuracy and expands applications

Onder de naam UltraStable meten de TO-8 en HIT Serie druksensors absolute, manometer- of differentiaaldruk, met een non-lineariteit van ±0.1% over een meetbereik van 0 tot 17bar. Het nieuwe ontwerp vermindert de meet-, nul- en driftfouten en verhoogt het bereik van de bedrijfstemperatuur, dat nu tussen -20 en +85°C ligt. De sensors zijn ontworpen voor lagekost, hoog-volume ingebedde OEM toepassingen in medische instrumenten, procesregeling, ijkapparatuur en elektronica, en in apparatuur voor luchtflowmanagement, avionica en lekkendetectie.
De TO-8 Serie, gebruikt als hoofdsensors of voor meetcompensatie, heeft een drukbereik van 0 tot 0,7bar en 0 tot 17bar, en voor de HIT Series bedraagt dit 0 tot 0,7bar en 0 tot 7bar. Beide modellen zijn geconfigureerd voor montage op printplaten en zijn onderling verwisselbaar met de door het bedrijf vervaardigde sensors van de vorige generatie.
Micromechanisch vervaardigde silicium druksensors zetten druk om in een elektrisch signaal, door detectie van de deflectie in een siliciumdiafragma. De deflectie wordt gemeten door ionenimplantie-weerstanden op het diafragma. Een nieuw vormontwerp (het samenstel met het sensordiafragma) dat ook een wijziging van de boriumiondosering omvat, gecombineerd met een meer nauwgezette productiecontrole, vormen de kern van deze prestatiegerichte doorbraak, aldus het bedrijf.
Hoge doteringsconcentraties beperken de door temperatuur beïnvloede effecten, met als resultaat een meer lineaire respons binnen verder uit elkaar liggende bedrijfstemperatuurgrenzen. Dergelijke verbeteringen op het gebied van de ijkingstabiliteit zijn vooral van belang voor de precisie van verplaatsbare apparatuur en industriële procesinstrumenten die in omgevingen met fluctuerende temperatuur worden gebruikt.
EG&G IC Sensors, gevestigd in Milpitas, Californië, USA, ontwerpt en fabriceert silicium druksensors, versnellingsmeters en microproducten op maat d.m.v. machinale micro-bewerking, die wereldwijd worden verkocht. UltraStable is een gedeponeerd handelsmerk van EG&G IC Sensors.

Neem voor nadere informatie contact op met:
Linda E. Duprel
EG&G IC Sensors
1701 McCarthy Boulevard
Milpitas, CA 95035
USA
Tel: +1 408 432 1800
Fax: +1 408 432 7322